超純水機管道如果長時間不清洗，會嚴重影響最終的出水品質問題，長期泡在水中的管道極其容易產生細菌，部分區域還會生長出青苔的物質，如果不及時清理管道內部污染物，時間久了就會對設備產生損壞，所以我們需要及時對超純水機進行清理。

　　
　　在清洗超純水管道之前，首先我們需要注意的是清洗超純水管道一定要采用超純水設備的產水，也就是超純水，然后將儲罐與一臺水泵鏈接，再和需要清洗的管道進行鏈接，形成一個循環桐廬，再儲罐注入一定量的超純水用水泵進行循環，十五分鐘之后擰開排水閥，一邊排放一邊循環，可以使用流量計測量。然后用稀釋過的氫氧化鈉溶劑繼續循環沖洗，循環半個小時。

　　
　　第一遍清洗前應在不銹鋼濾筒里的安裝使用過的微孔濾棒專供清洗使用，清洗完成后正式使用前方更換全新微孔濾棒;純水超純水成套設備中的樹脂罐嚴禁與清洗所用的雙氧水溶液接觸，清洗前樹脂罐旁應安裝管道旁通。

　　
　　第二、三遍使用雙氧水溶液清洗時，每次應使用雙氧水溶液在管內循環半小時，然后停止循環關閉供回主管閥門，讓溶液在管道中浸泡1小時。

　　
　　第四遍清洗時，應使用沖洗的方式，沖洗時間不少于8小時，邊沖邊循環邊在管道最末端放水。

　　
　　整個清洗過程中，末端用水點進設備處都應先行關閉，同時在最后一遍沖洗時，應將每臺設備用水點處進行排放，排放時間不少于0.5小時。

　　
　　雙氧水由于能夠分解產生O2具有強氧化，能使有機色質褪色，所以具有漂白性，所以在操作過程中皮膚不應長期接觸雙氧水溶液，最好應戴上橡膠手套操作。